在工件表面同時深入氮、碳元素，且以滲氮為主的工藝方法， 就是在 Fe-N 系的共析溫度以下530 ~ 570 ℃，進行氮碳共滲的過程，俗稱軟氮化。其共滲機理與滲氮相似，隨著處理時間的延長，表面氮濃度不斷的增加，發(fā)生反應擴散，形成白亮層及擴散層。氮碳共滲使用的介質(zhì)必須能在工藝溫度下分解出活性 N、C 原子。軟氮化的過程與其他化學熱處理如滲碳和氮化法一樣，可分為三個階段 :

(1)軟氮化介質(zhì)的分解，產(chǎn)生活性碳原子和活性氮原子。

(2)分解出來的活性碳、氮原子被鋼鐵表層吸收，并且達到飽和狀態(tài)。

(3)鋼的表面層飽和的氮向內(nèi)層深處擴散。已經(jīng)發(fā)展提出并且已經(jīng)實現(xiàn)的軟氮化的方法有很多 :

(1)氰鹽鹽浴的化學反應

使用氰化鹽為主要原料，通入空氣或者氧氣，氧化成一定濃度的氰酸鹽進行軟氮化反應 :2NaCHO + O2→ 2NaCNO2NaCNO+O2→ Na2CO3+CO+2[N]其中 CO 繼續(xù)分解 :2CO → [C] + CO2

(2)尿素 + 碳酸鹽軟氮化的化學反應 :2(NH2)2CO+Na2CO3→ 2NaCHO+2NH3+CO2+H2O2NH3→ 2N+3H22CO → [C] + CO2

(3)吸熱型氣氛 + 氨的化學反應 :2NH3→ 2N+3H22CO → [C] + CO2國外用吸熱式的氣氛比較多。

(4)甲酰胺熱分解的化學反應 :甲酰胺在 400 ~ 700 ℃溫度范圍內(nèi)，按下列反應進行 :HCONH2→ NH3+COHCONH2→ H2O + HCN2NH3→ 2N+3H22HCN → 2[N] + H2+ 2[C]2CO → C+CO2

(5)尿素熱分解的化學反應 :將尿素加熱到熔點 127 ℃時，即分解，在不同的溫度范圍，其分解的產(chǎn)物也不同。在 500 ℃以上的爐膛內(nèi)，尿素熱分解反應比較完全，其反應 :CO(NH2)2→ CO+2H2+2[N]2CO → CO2+ [C]

綜合上訴所有的反應式來看，盡管使用的軟氮化介質(zhì)不同，反應的結(jié)果都產(chǎn)生活性碳原子和活性氮原子，從而達到軟氮化的目的。