(1)在一定溫度下向試件表面滲入氮、碳，以滲氮為主，但非單純滲氮。

(2)氣體氮化(耐磨氮化)適用于特殊的氮化鋼，而軟氮化不只限于特殊氮化鋼。碳鋼、合金鋼、鑄鐵、粉末冶金裁量均適用。

(3)軟氮化時間比較短。軟氮化與硬氮化來比較，最大的特點是除了氮化以外，還有一定的滲碳作用。氮化時鋼的表面首先被碳飽和，在 α-Fe 中生成超顯微組織的碳化物，這種碳化物能作為氮化的媒介而促進氮化，因此，軟氮化的時間比氣體氮化的時間大大縮短。

(4)軟氮化比普通氮化溫度略低，因此變形更小，但硬度和氮化層厚度略差，且氣體軟氮化無毒。

(5)氮化和軟氮化兩者都會形成 ε 相的白亮層。對于氮化來說，這個白亮層常常有 Fe2N 脆性相存在，裂紋敏感性大，應該盡量避免，而在應用中，也是要把此白亮層磨去后在使用，尤其是功能使用面。而軟氮化的白亮層具有很好的韌性，裂紋敏感性比較小，使用時是靠白亮層來起作用的。